イノベーション推進機構 産学連携・URA領域

九州工業大学の研究者 -私たちはこんな研究をしています-

情報工学研究院

准教授

新海 聡子

しんかい さとこ

所属
情報工学研究院
マイクロ化総合技術センター
プロフィール
1974 
生まれ
2000 
博士(工学) 北見工業大学大学院
2000 
北見工業大学大学院 工学研究科 博士後期課程 物質工学専攻修了
1998 
北見工業大学大学院 工学研究科 修士課程 化学環境工学専攻終了

化学の面白さに取り憑かれ、大学時代は化学を中心とした機能性材料について幅広く学んでいました。そんな中、大学3年の時に受けた「半導体デバイス」の講義が非常にわかりやすく、自分には未知なる分野の講義を担当していた教員のもとでもっと半導体を知りたい、学びたいと思ったことが全ての始まりです。私が、ひとりの教員との出会いで大きな一歩を踏み出すことができたように、学生にとっても大きな一歩を踏み出す力を与えられる研究者でありたいと思っています。

より詳しい研究者情報へ

微細化技術に終わりはない
   ・・・ミクロの世界が人類を救う 

高性能半導体を世界は待っている
   ・・・微細化技術と省エネの融合          

● 研究テーマ

  • ・LSIの高信頼化に関する研究
  • ・半導体デバイスに関する研究
  • ・エピタキシャル成長を軸とした結晶成長に関する研究
  • ・材料拡散特性に関する研究

● 分野

電子・電気材料工学 電子デバイス・電子機器 機能材料・デバイス

● キーワード

LSI配線,拡散バリア,真空技術,表面形態,薄膜結晶成長技術,結晶配向性,エピタキシャル成長,電子材料物性,LSI製造技術

● 実施中の研究概要

半導体集積回路の技術革新ほど目覚ましく初期の半導体集積回路に使われたトランジスタの発明から今日の高性能コンピュータの出現まで僅か半世紀しか経っていません。特にシリコン半導体集積回路は高度情報・通信社会の基盤を支えてきましたが、これからもより微細化が進み大きな発展を遂げるものと予想されます。
 一方、著しい普及が続く携帯端末等の分野では「高周波デバイス」、幹線光通信用では「半導体レーザ」、エネルギー変換や省エネルギー問題に関連する分野では「パワーデバイス」がそれぞれのシステム性能を決める重要なキーデバイスとなっています。これらの化合物半導体に牽引されるディスクリート半導体(半導体製品の部品となるトランジスタ、ダイオード、コンデンサ、サイリスタなど単機能の素子の総称。「個別半導体」「単機能半導体」などと呼ばれる)デバイスの代表格である高周波デバイス,光デバイス、パワーデバイスは、近年着実に基本素子性能を向上させています.
 私の研究は、新規材料とプロセス技術をデバイス製造工程に利用、応用することにより次世代半導体デバイスの新しい姿を提案することです。特にSi-LSIの場合は、高速化・微細化・高信頼化に対応可能なLSIの確立をめざし、LSIの構成要素材料および結晶構造的見地から研究を行っています。当面の挑戦項目としては、新規材料導入によるプロセスと界面反応の問題解決が挙げられます。長期的には、従来型のスケ―リングに伴う材料変更に頼るだけではなく革新的な製造技術の提案を目標としています。一方、ディスクリート半導体デバイスについては、個々の材料特性だけでなく材料の組み合わせにより発現する様々な特性についても考慮し薄膜結晶成長技術を軸にした新規材料開発を行っています。

● 今後進めたい研究

今後は,Siデバイスに固執することなく,幅広く化合物半導体デバイスに関する研究を進めていく予定です.特に,省エネルギーをキーワードとしたデバイスはこれからも更なる飛躍を遂げるべきと考えていますので,精力的に研究を進めていく予定です.

● 特徴ある実験機器、設備

1. クリーンルーム プロセス室
2. クリーンルーム フォト室
3. マイクロ化技術室
4. 状態評価室
その他,設計,測定関連設備など

● 研究室ホームページ

クリーンルーム プロセス室

クリーンルーム フォト室

マイクロ化技術室

状態評価室