環境にやさしい新しい半導体

● 研究テーマ

• ❖ Si系新規半導体の創製による光エレクトロニクス機能の発現
• ❖ トポロジカル絶縁体による新規量子機能の開拓
• ❖ 新原理に基づいた半導体成膜装置と分光評価装置の開発

● 分野

応用物性関連、電気電子材料工学関連、半導体、光物性および原子物理関連

● キーワード

半導体光エレクトロニクス、エピタキシャル成長、光物性

● 実施中の研究概要

鉄やシリコンといった資源が豊富で環境に優しい身近な元素で新しい光デバイス用の半導体を開発しようとしています．具体的には金属とシリコンの化合物であるシリサイドを使って新しい光半導体を作製し，現存の光デバイスと置き換えることを目標としています．
また，CPUに代表されるような電気信号だけで演算処理しているデバイスに，光機能を融合させた光集積回路の構築も目指しています．光集積回路が実現できれば，光ファイバー通信の信号を光のまま演算素子に入れることができ，光－電気の変換が不要な高速通信・演算が可能になると期待されます．
新しい機能を持つ半導体ができれば，新しい機能を持つデバイスができることは自明で，その積み重ねで新しいIoT社会を創る根幹技術を開発していく方針です．

● 今後進めたい研究

Society 5.0の社会で必要とされる、新機能の電子・光デバイスの開発

● 特徴ある実験機器、設備

分子線エピタキシー装置（2台）、マグネトロンスパッタリング装置（3台）、偏光ラマン分光装置、変調光反射率測定装置、近赤外フォトルミネッセンス装置、分光感度スペクトル測定装置、分光エリプソメーター、分光光度計、ホール効果測定装置

● 知的財産権（技術シーズ）

・赤色発光半導体素子とその製造方法　特開2013-120848
・赤色発光半導体素子とその製造方法　特開2013-120847
・テラヘルツ光伝導基板，並びに，それを用いたテラヘルツ光検出装置、テラヘルツ光発生装置、およびテラヘルツ光測定装置　特開2009-238911
・光アシスト型磁気記録装置　特開2009-060057
・集束イオンビーム装置を用いたジョセフソン素子製造方法及びその装置　特開2004-063576
・ＦＩＢをガスが供給される基板表面に照射して超電導膜を成膜する方法及びその装置　特開2004-059958

● 関連リンク先

❖ 研究室ホームページ

• http://brave.cse.kyutech.ac.jp/

❖ より詳しい研究者情報

https://hyokadb02.jimu.kyutech.ac.jp/html/100000800_ja.html